建安二十年(215年),正旦(正月初一)时候,马超妾董氏的弟弟董种来向马超恭贺新年,马超捶胸吐血而说:“家门百口余人,全部被杀害,如今我们两个还有什么好相庆祝的?”,刘备听说马超要来投,高兴的说道:“我得到益州了!”于是派人去迎接马超,且偷偷把自己的一支军队给马超,让马超率兵合围成都。
马超率领兵马径直到成都,屯兵于城北,城中所有人都因为马超威名而惊恐,不到十天的时间,成都军民就崩溃了,刘璋随即开城投降。刘备平定西川后,任命马超为平西将军,并命其督临沮军事,还以之前的都亭侯。
建安二十二年(217年),十月,刘备与曹操争霸于汉中之地,马超与张飞、吴兰等将领屯兵于下辩,氐族雷定七部万余人响应马超。
建安二十三年(218年),正月,张飞与马超率领吴兰、雷铜等临沮水,想要借此攻打武都、阴平两郡。吴兰、雷铜皆被曹洪、骑都尉曹休、雍州刺史张既等击破,吴兰部将任夔战死,阴平氐王强端逆斩吴兰,把首级献给曹军。三月,曹操亲提大军来争夺汉中,刘备据守,马超与张飞引兵退回汉中。
建安二十四年(219年),刘备夺下汉中。秋,以马超为首的一百二十余名蜀汉官员联名上疏《立汉中王上表汉帝》,劝刘备进位汉中王。刘备称王后,拜马超为左将军。
建安二十五年(220年),彭羕听说刘备调自己远出任职,私下心里很不高兴,于是便去会见马超。马超向彭羕说:“您的才干超群拔萃,主公对您很器重,说您可与诸葛亮、法正等人并驾齐驱,怎么会让您外任小郡,使人失望呢?”彭羕说:“这个老兵痞子,荒唐无理,还有什么可说!”又对马超说:“您是外放官,我是内应,天下不会平定不了。”马超半生为枭雄,归顺刘备,寄人篱下后常心怀危惧之感,听到彭羕说出这种话大吃一惊,默不作声。彭羕走后,马超便将彭羕的话如实上报,于是彭羕被逮捕囚禁,之后刘备听取诸葛亮意见处死彭羕。
公元221年,刘备称帝,国号继承为“汉”,史称“蜀汉”或“季汉”。清代绣像三国演义形象改定元年为“章武”,封拜马超为骠骑将军,领凉州牧,进封斄乡侯。并下册封诏书:“朕没有什么大德,却得以继承皇帝之位,继嗣刘家的江山,曹操曹丕父子,世代都会记住他的罪行。朕感到非常地忧伤,非常地痛心疾首。四海之内都怨愤曹氏家族,渴望回归大汉江山的正道上,鉴于氐族羌族对你的相率而服从,匈奴倾慕你的大义。以你在北方的信义及拥有的极高的威望和勇武,特此委任授予于你,希望你振奋飞扬如咆哮的猛虎般,统领万里疆域,解救百姓的苦难。大力宣扬朝廷的优良风化,攘外安内,严肃谨慎的对待奖赏惩罚,使大汉的福泽更加强盛,这样才能对得起天下的百姓。”
蜀汉章武二年(222年),马超患了重病,上疏给刘备:“臣宗族门下二百口人,被曹操诛杀殆尽,只剩下随从弟弟马岱,当以我卑微的宗族让他继承,深深地托付给陛下您,其他的也没什么话了。”
同年十二月(223年1月)[1] 马超病逝,年仅47岁。
建兴五年(227年),诸葛亮北伐行军至沔阳,亲自诣坟所设祭祀,让马岱挂孝衣帛。
景耀三年(260年),九月,马超与关羽、张飞、庞统、黄忠被追封谥号,马超谥号为“威侯”。
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